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型號:GSZ-RTS-4

四探針檢測儀

描述:GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的,用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。

  • 廠商性質

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2024-04-16
  • 訪問量

    1574
詳細介紹
品牌恒奧德
四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀(接電腦,含自動測試臺)型號:GSZ-RTS-4(SDY-4替代)GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美A.S.T.M標準而的,用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等優(yōu)點。

GSZ-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析

參數(shù):
 測量范圍
 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展);  
 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展);
 電導率:0.005~1000 s/cm
 電阻:0.001~200Ω.cm;
可測晶片直徑
 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒源
 電量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電連續(xù)可調
數(shù)字電壓表
 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本標
 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ;
 機械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數(shù)
 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行)
 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差
(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度
 ≤5%
計算機通訊接口
 并口
標準使用環(huán)境
 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無頻干擾;
 無強光直射

 

 
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